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ROT-OS09 # 工位九、薄膜测厚工位 
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简介

在薄膜材料、玻璃制造等多个行业里,薄膜的在线测量必不可少。薄膜测厚是光电技术中‘算法密集型’的应用,应用了光谱预处理方法、回归算法和傅立叶变换信号处理等处理方法。学生在此工位中通过搭建薄膜测厚的光路,跟随流程,了解如何从大量的数据中,去除干扰,得到所需要测量的关键值的方法。


实训内容

学习和掌握白光干涉测定薄膜厚度的基本原理;

使用拟合算法测量单层MgF2增透膜和镀膜硅片的膜厚;

使用快速傅立叶变换算法测量PET薄膜的厚度;

自建薄膜样品的测量方法。



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